有限元仿真:提供多款軟件對器件的性能進行仿真,包括多物理場仿真,電磁仿真,工藝仿真等。
膜層設計:指根據MEMS結構設計和仿真結果,對膜層的上下堆疊方式進行設計,擁有豐富的膜層結構設計經驗,對膜層間粘附性,兼容性和刻蝕選擇比擁有強大的實驗數據支撐。
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