提供不同尺寸、不同加熱電極、不同加熱溫度的MEMS微熱板氣體傳感器定制芯片。微熱板工藝流程如下:
提供不同尺寸、不同規格的MEMS紅外光源定制芯片。紅外光源工藝流程如下:
提供FBAR濾波器定制芯片。FBAR濾波器工藝流程如下:
提供MEMS超聲波傳感器定制芯片。超聲波傳感器工藝流程如下:
提供擴散硅壓阻式力傳感器、多晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI( Silicon on Insulator
提供各類MEMS生物醫療器件定制芯片,包括叉指電極、三電極共面電極。
提供不同開口孔徑和不同厚度的硅基通孔定制芯片,用于病毒細胞和蛋白質篩選。
硅針/柔性針主要用在神經元檢測、葡萄糖檢測等。針長可達到15mm。
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