包括硅基微針和可溶性微針模具,常用在美容儀、微針貼劑和給藥等領域。
包括叉指電極和三電極共面集成叉指電極,其作用是將化學和生物敏感物質濃度轉化為電信號進行檢測和識別。
包括正面開腔懸臂梁式、背面開腔懸膜式和旁熱式,主要用作MEMS氣體傳感器的加熱芯片。
包括不同量程的壓力芯片,包括絕壓芯片和表壓芯片,主要應用于血壓計、高度計和氣壓計等。
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